a股“口罩对准器第一股”来了。
9月17日，上交所发布上海市科创板委员会会议审议结果，北京华卓精科科技有限公司首次获批。
华卓精科主要研究、开发、生产超精密测控设备零部件及超精密测控设备整机，并提供相关技术开发服务。是国内第一家自主研发并实现掩模对准器双工件台商业化生产的企业，已进入国内掩模对准器制造商上海微电子的供应链。
值得一提的是，联合主承销商CICC为华卓精科第八大股东，持股比例为3.06%。2019年3月，国家大基金一期子基金上海半导体设备材料基金出资4200万元参与华卓精科增资，目前持有其2.08%的股权。
深耕半导体精密测控领域。
华卓精科的主要产品包括精密运动系统、晶圆级键合设备、激光退火设备、静电吸盘等。
据了解，精密运动系统的主要功能是承载被加工或被测零件，实现精密运动或定位。华卓精科精密运动系统的关键性能参数已达到国际同类设备水平，可广泛应用于半导体晶圆AOI检测、LCD及有机发光二极管检测切割、PCB曝光制造、生物检测等行业。
晶圆级键合设备旨在高精度对准和键合两个晶圆，工艺复杂。华卓精科打破EV集团在国内混动粘合领域的垄断。目前，公司已与上海集成电路RD中心有限公司形成了良好的合作关系.截至7月31日，公司手头晶圆级键合设备订单为9520.45万元。
华卓晶科HBS系列自动晶圆混合键合系统。
激光退火设备是指用高能激光束对晶圆进行自动退火的专用设备。目前，华卓精科专注于集成电路用40-14nm前激光退火设备的研发，推动了我国集成电路用高端前激光退火设备的发展。公司手头有足够的激光退火设备订单。截至7月31日，订单金额为1.33亿元。
静电吸盘的主要作用是吸附硅片、玻璃或其他掩膜物体，保持被吸附物相对平整。华卓晶科研发的12英寸PVD氮化铝静电吸盘，在一定程度上打破了国外厂商在该产品领域的长期垄断。
卓晶科介绍，公司晶圆级键合设备产品落后于竞争对手；激光退火设备在某些指标上仍处于劣势。精密运动系统在产品线丰富性方面落后于国际领先企业。静电吸盘在产品线构成、应用流程、应用领域等方面仍需加强。
已由掩模对准器双工作台交付。
光源、光学系统和工件台是掩模对准器的三个核心部件。目前华卓精科已具备小批量生产口罩对准器双工作台的能力。
所谓双载物台，即在掩模对准器中有两个载物台，一个用于曝光，另一个用于同时测量和运行，可以大大提高芯片的生产效率。
但华卓晶科的口罩对准器双工作台业务尚未产业化。公司解释称，口罩对准器中工作台的产业化不仅受到公司产品开发进度的影响，还受到口罩对准器中整机和系统部件技术发展的影响。
2020年4月，华卓精科首款干式双工作台产品通过用户测试并交付客户。2021年1月和4月，一台干式双工件台在掩模对准器中交付给整机单元。公司表示，随着下游客户需求的提升，公司生产的口罩对准器双工作台数量将逐步增加。
掩模对准器技术难度大，被誉为半导体制造设备的“皇冠”。目前，国际上生产口罩对准器的厂家主要有
华卓精科表示，随着国内晶圆产能的建设和扩大，中国将成为全球晶圆产能增长的重点，公司在掩膜版对准器中的双工件台产业化具有良好的市场预期。
[责任编辑：宋元明清]
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